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CoSi薄膜的织构研究

对厚度约为０．４μｍ的ＣｏＳｉ２多晶薄膜的织构进行了研究。Ｘ射线极图分析表明，薄膜表现出与以往文献中所报导的ＣｏＳｉ２薄膜安全不同的织构类型。在Ｓｉ（１１）衬底上织......

期刊

织构极图硅化钴薄膜 silicide texture pole　figure

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